リモート・プラズマ (またの名は、ダウンストリーム・プラズマもしくはアフターグロー・プラズマ）は、プラズマと材料の相互作用がプラズマ・アフターグロー内のプラズマから離れた場所で発生するプラズマ処理方法である。
関連項目
- 化学気相成長
- コロナ処理
- プラズマ (物理) 応用記事一覧
- 物理気相成長
- プラズマ活性化
- プラズマ化学
- プラズマ洗浄
- プラズマ活性化ボンディング
- 反応性イオンエッチング
- 長江メモリ
- プラズマ活性化
- リモート・プラズマ
- フラッシュメモリ・コントローラ
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